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              马尔粗糙度轮廓仪LD 260

                

                

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              产品特点 :

              l  高速移动和定位

              l  130mm/260mm长测量行程以及大测头测量范围

              l  创新测针系统以及仿生学测臂设计

              l  磁性的测臂夹持装置和测臂识别装置

              l  粗糙度和轮廓度二合一

              l  基于友好服务理念的模块化设计

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              技术参数:

              水平轴的特征:

              ?  行程长度(Lt)0. mm to 260 mm

              ?  定位速度:0.02 mm/s  200 mm/s

              ?  测量速度:0.02 mm/s  10 mm/s; 粗糙度测量 推荐速度0.1 mm/s0.5 mm/s

              ?  X方向取样间距:0.05 μm30 μm,可调整

              ?  每次测量最多测量点:5200000

              ?  分辨率:0.8 nm

              ?  X轴测量的不确定度:± (0.2+l/1000) μm; l 单位 mm

              测头系统特征:

              ?  测头测量范围:26 mm (200 mm测臂)

              ?  分辨率:0.8mm

              ?  测量力:0.5 mN to 30 mN, 可通过软件设置

              残余误差 Rz0, Rq0

              ?  vt = 0.1 mm / s时的残余误差:Rz0 20 nm  Rq0 1 nm, typical

              轮廓:

              ?  距离测量显示误差:± (1.0+l / 150) μm; l 单位 mm

              ?  半径测量显示误差:(R  10 mm) ± 1 μm (10 mm < R  300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) μm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) μm                                                     

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              时间:2021/6/3 9:56:58
              来源:http://www.fysat.com/
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